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파크시스템스, 나노 계측 원자현미경의 컴퓨터 프로그램 특허, 나노 단위 반도체 측정에 정교함을 더하다!(최신 특허 소개)

안녕하세요, 최신 특허 TV의 김종승 변리사입니다. 오늘은 정말 제가 좋아하는 기업인 파크시스템스의 최신 특허를 소개해드리고자 합니다. 파크시스템스의 원자 현미경 기술은 국정원에서도 보호하는 첨단 기술인데요. 반도체 공정 미세화에 따라서 반도체의 '언더컷' 등의 예측하지 못한 결함 구조 등을 측정하기 위한 파크시스템스의 '3DM' 장비에 대한 최신 특허가 나와서 소개해드리고자 합니다. 해당 최신 특허는 '3DM' 장비에서 쓰이는 컴퓨터 프로그램에 관한 특허이고, 이 컴퓨터 프로그램을 통해서 나도 단위 반도체 측정에 정교함을 더했다고 보여집니다. 0:00 인트로 00:52 파크시스템스 반도체용 원자현미경 3DM 장비 설명 03:13 최신특허 소개(3DM 장비에 쓰이는 컴퓨터 프로그램 특허) 09:08 결론 원문 글을 보시기 원하시면 아래 블로그를 봐주세요. https://blog.naver.com/ohkims_ip/2225... #파크시스템스 #원자현미경 #나노 #언더컷