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반도체 제조에 친환경 오존 사용 / YTN

[앵커] 그동안 반도체 제조 공정에는 표면처리나 세정을 위해 유해 화학물질이 사용되고 있는데 환경오염 우려도 함께 제기돼 왔습니다. 그래서 액체 화학물질 대신 친환경적인 오존을 사용하는 방법이 새롭게 주목받고 있는데요. 전량 수입에 의존하던 오존생성장치를 국내 연구진에 개발했습니다. 이정우 기자입니다. [기자] 반도체나 디스플레이 등 전자부품산업의 경우 세정과 표면처리 공정에 화학 용액을 대량으로 사용해 환경오염 우려와 함께 막대한 비용이 필요합니다. 이 때문에 살균과 소독, 유기물 분해 등 높은 산화력과 친환경적인 '오존'을 화학 용액 대신 활용하는 방안이 강구되고 있습니다. 이처럼 '그린 케미컬'로 불리는 '오존'을 대량 생산할 수 있는 오존생성장치를 국내 연구진이 개발했습니다. [손영수 / 기계연구원 로봇메카트로닉스연구실장 : 유해 화학물질을 사용하는 공정들을 유해 화학 용액을 사용하지 않고 본 오존 가스를 이용해서 환경친화적인 공정으로 전환할 수 있는 기술이 되겠습니다.] 이 장치는 공정 반응 후 잔류물이 배출되지 않아 환경친화적인 데다 반도체 공정에서 요구되는 높은 산화력의 고농도·고순도 오존을 고수율로 만들 수 있습니다. 반도체 공정의 경우 청정실 등 제한된 공간으로 장치의 최소화가 관건이었는데 방전관을 비롯한 주변 장치를 소형화해 이 문제를 해결했습니다. 그동안 고농도 오존생성장치는 전량 수입에 의존했던 만큼 수입대체 효과가 기대됩니다. 전기에너지를 30% 이상 절감할 수 있는 이 기술은 사용자의 편의성을 높여 산업 전반에 걸쳐 다양하게 활용될 것으로 보입니다. 오존생성장치의 기술적 성능뿐 아니라 장치의 적층화·소형화를 통해 대용량 오존이 필요한 수처리 산업에도 적용할 수 있습니다. [손영수 / 기계연구원 로봇메카트로닉스연구실장 : 오존을 이용한 공정으로 대체하기 위한 핵심 장치기술을 개발한 것에 의의가 있고요. 환경친화적이고 저비용 공정으로 전환하는 기반을 마련했다는 데 의의가 있습니다.] 중소기업에 이전된 이 기술이 상용화되면 기존 반도체 제조공정과 수처리 산업에서 사용되는 외산 오존생성장치가 국산으로 대체될 전망입니다. YTN 이정우[[email protected]]입니다. ▶ 기사 원문 : http://www.ytn.co.kr/_ln/0115_2016010... ▶ 제보 안내 : http://goo.gl/gEvsAL, 모바일앱, [email protected], #2424 ▣ YTN 유튜브 채널 구독 : http://goo.gl/Ytb5SZ [ 한국 뉴스 채널 와이티엔 / Korea News Channel YTN ]