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[ 반도체엔지니어 아카데미] ALD 공정소개 #1 반도체 공정에 활용되는 ALD 증착 방식의 Mechanism과 관련 용어들에 대해 알아보았습니다. 2 года назад


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[ 반도체엔지니어 아카데미] ALD 공정소개 #1 반도체 공정에 활용되는 ALD 증착 방식의 Mechanism과 관련 용어들에 대해 알아보았습니다.

반도체 Main 공정 증착 기법 중 하나인 ALD 증착방식에 대한 내용입니다. 개인적으로는 Main 공정 장비 중 국내 기업들이 가장 글로벌 경쟁력을 가지고 있는 장비 기술 분야라고 생각하는 증착 방법입니다. 미세 공정으로 가면서 점점 활용도가 높아지고 있는 증착 방법이라고 생각됩니다. #반도체 #ALD #CVD #반도체엔지니어

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